Silicon Austria Labs wurde eine F&E-Infrastrukturförderung 2023 der Österreichischen Forschungsförderungsgesellschaft FFG gewährt, um ein neues Labor für Dünnschichttechnologien in Graz zu errichten. Das Labor ist für Forschung mit einem niedrigen TRL (Technology Readiness Level) ausgerichtet.

Das neue Labor wird von der Forschungsabteilung „Thin Film Technologies“ unter Marco Deluca geleitet. „Electronic Sensors“, geleitet von Rudolf Heer, wird ebenfalls zum Labor beitragen. Mit ca. 40 m2 an ISO7-Reinraumfläche für die Entwicklung von neuartigen kostengünstigen und umweltfreundlichen Materialien verfügt SAL somit über die Kapazitäten, um moderne Prozesstechnologien wie die gepulste Laserdeposition zu erforschen. Explorative Forschung mit einem niedrigen TRL und hoher Flexibilität bei Materialien und Prozessen wird dazu dienen, vielversprechende Technologien zu entwerfen und zu optimieren, die sich potenziell auf ein industrielles Niveau hochskalieren lassen. Zusätzlich werden weitere 40 m2 für Charakterisierungsmethoden zur Verfügung stehen, um die Struktur, Funktionalität und Verlässlichkeit der produzierten Dünnschichtgeräte zu testen.

Da das neue TFT-Labor in Graz auf 4”-Wafertechnologien basiert, ergänzt es unsere Kompetenzen in den SAL-Reinräumen in Villach perfekt. So verfügen wir über die nötige Flexibilität, um grundlegende wissenschaftliche Fragen zu klären, mit denen wir die Qualität und Wettbewerbsfähigkeit unserer Geräte und Technologien stärken können.

„Das TFT-Labor in Graz wird eine einzigartige Infrastruktur in Österreich, die tief in unserem akademischen Ökosystem verwurzelt sein wird,“ so Marco Deluca, Leiter der Forschungsabteilung für Dünnschichttechnologien bei SAL. „Industrielle Partner sind eingeladen, unsere TFT-Laboreinrichtungen in Graz zu verwenden – entweder alleine oder auch in Zusammenarbeit mit wissenschaftlichen Partnern. So können wir Synergien schaffen, die die österreichische und die europäische Position von fortgeschrittenen, auf Dünnschichten basierten Geräten stärken.“

Forschung an Dünnschichttechnologien bei SAL

Die Forschungsunit „Thin Film Technologies“ liegt im Herzen von F&E für Mikrosysteme. SAL bietet hier Lösungen für die Entwicklung, Charakterisierung und Überprüfung von Dünnschichten, welche hochmodernen Elektronik- und Softwarebasierten Systemen (ESBS) ihre Funktionalität geben.

Erfahren Sie mehr: https://silicon-austria-labs.com/en/research/competence-areas/thin-film-technologies